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ISO 14644 根據懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室(區)及相關受控環境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 范圍內呈累積分布的粒子群。根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空氣潔凈度等級(N) |
大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(個/每立方米空氣粒子) |
|||||
0.1 um |
0.2 um |
0.3 um |
0.5um |
1um |
5 um |
|
ISO Class 1 |
10 |
2 |
||||
ISO Class 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
ISO Class 3 |
1 000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO Class 4 |
10 000 |
2 370 |
1 020 |
352 |
83 |
|
ISO Class 5 |
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3 520 |
832 |
29 |
ISO Class 6 |
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8 320 |
293 |
ISO Class 7 |
352 000 |
83 200 |
2 930 |
|||
ISO Class 8 |
3 520 000 |
832 000 |
29 300 |
|||
ISO Class 9 |
35 200 000 |
8 320 000 |
293 000 |
|||
注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平。 |
粒徑、數值潔凈度級別 |
塵埃最大允許數/立方米 |
微生物最大允許數 |
||
≥0.5um |
≥5um |
浮游菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
|
100 級 |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
10,000 級 |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
100,000 級 |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
300,000 級 |
10,500,000 |
60,000 |
— |
15 |
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